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超純水清洗步驟占據(jù)芯片生產(chǎn)總步驟的三分之一

閱讀:128          發(fā)布時(shí)間:2022-6-30

  芯片已經(jīng)成為我們*的物件,在日常生活中有著非常廣泛的應(yīng)用,越來(lái)越多的高科技產(chǎn)品都在使用芯片,那么芯片到底是什么東西?芯片又被稱(chēng)為微電路、微芯片、集成電路,它其實(shí)是半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的統(tǒng)稱(chēng)。

  “點(diǎn)石成芯"會(huì)主要經(jīng)歷硅片制造、晶圓制造、芯片封裝和芯片測(cè)試幾大流程。提起芯片制造,大家想到的一定是光刻機(jī),作為芯片制造的核心設(shè)備,光刻機(jī)缺口成為了無(wú)數(shù)國(guó)人的痛。

  然而,光刻機(jī)雖然關(guān)鍵,但卻僅參與到芯片光刻這一個(gè)環(huán)節(jié)之中。與光刻相對(duì)比,清洗步驟貫穿于芯片生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié),清洗的效果直接影響到芯片良品率。

  清洗步驟占據(jù)了整個(gè)芯片生產(chǎn)總步驟的三分之一。清洗過(guò)程離不開(kāi)清洗用的超純水。為什么一定要用超純水呢?隨著芯片的精密度越來(lái)越高,生產(chǎn)環(huán)節(jié)對(duì)于水質(zhì)的要求也越來(lái)越高,為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路除高純?cè)牧?、高純氣體、高純化學(xué)藥品外,超純水成為了重要因素之一。

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  超純水是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì),更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

  那么,如此高質(zhì)量的超純水該如何生產(chǎn)呢?

  傳統(tǒng)的超純水生產(chǎn)工藝是使用陰陽(yáng)樹(shù)脂交換設(shè)備。該方法的缺點(diǎn)是樹(shù)脂在使用一段時(shí)間后往往需要再生。

  經(jīng)過(guò)多年的實(shí)踐,萊特萊德超純水系統(tǒng)是將反滲透水處理設(shè)備、電去離子(EDI)設(shè)備和拋光混床相結(jié)合制備超純水的設(shè)備。這不僅是一種制備超純水的新技術(shù),也是一種環(huán)保、經(jīng)濟(jì)、發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚒?/p>

  超純水設(shè)備可連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)超純水,不會(huì)因樹(shù)脂再生而停止運(yùn)行。設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊,占地面積小,可為企業(yè)節(jié)省大量空間。與傳統(tǒng)方法相比,超純水設(shè)備具有許多優(yōu)點(diǎn),可以連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水。

  芯片的生產(chǎn)制造離不開(kāi)超純水,超純水的生產(chǎn)自然也離不開(kāi)超純水設(shè)備。萊特萊德采用靶向離子交換系統(tǒng)針對(duì)超純水中難處理的硼及其他離子定向去除同時(shí)還能連續(xù)、穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。在晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍涂裝、試劑稀釋、氟化工等領(lǐng)域多有應(yīng)用。




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